На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БОЛОМЕТРА | |
Номер публикации патента: 1780476 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L039/24 | Аналоги изобретения: | 1. Справочник по приемникам оптического излучения. /Под ред. Л.З. Криксунова и Л.С. Кременчугского. Киев: Техника, 1985, с. 28. 2. Алфеев В.Н. Интегральные схемы и микроэлектронные устройства на сверхпроводниках. М.: Радио и связь, 1985, с. 154. |
Имя заявителя: | Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова | Изобретатели: | Листратова Г.В. Назарова В.Я. Ткаченко А.Д. Хребтов И |
Реферат | |
Использование: измерение тепловых потоков излучения, в частности тепловые приемники излучения, работающие при низких температурах. Сущность изобретения: на диэлектрической подложке формируют приемную площадку из сверхпроводниковой пленки и укрепляют диэлектрическую подложку на объемном теплоотводящем основании, причем в объемном основании производят выборку материала, соединяют его с диэлектрической подложкой методом оптического контакта, а затем любым известным способом уменьшают толщину диэлектрической подложки, образуя над областью выборки материала мембрану для формирования приемной площадки. Для этого до напыления сверхпроводниковой пленки подготавливают две составные части подложки, возможно из разных материалов или из одного кристалла, разрезанного на две части. В первой - объемном основании - делают выборку материала: сквозное отверстие, перпендикулярное плоскости разреза, либо в виде канавок, обрабатывают шлифованием - полированием поверхности каждой из частей со стороны разреза и соединяют их методом оптического контакта. После чего вторую часть обрабатывают шлифованием, полированием с внешней стороны, утоньшая до определенной толщины, тем самым образуя мембрану. 1 ил.
|