|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЖОЗЕФСОНОВСКОГО КОНТАКТА НА ОСНОВЕ НИОБИЯ |  |
Номер публикации патента: 1602301 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L039/24 | | Аналоги изобретения: | Гудков А. Л. и др. Письма в ЖТФ, 1985, т. 11, с. 1423. Фонер С., Шварц Б. Металловедение и технология сверхпроводящих материалов. - М.: Мир, 1984. |
| Имя заявителя: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР | | Изобретатели: | Борисенко И.Ю.
Войтенко Л.В.
Закосаренко В.М.
Ильичев Е.В.
Тулин |
Реферат | |
Изобретение относится к криоэлектронике и может быть использовано для создания сквидов и измерительных приборов на их основе. В способе, включающем напыление пленки ниобия на кремниевую подложку, формирование первого электрода, формирование слоя барьера, напыление пленки ниобия, формирование второго электрода, с целью улучшения электрофизических характеристик контакта слой барьера формируют нанесением карбида кремния. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента