На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
ДАТЧИК ИК ИЗЛУЧЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 95111196 | |
Вид документа: | A1 | Страна публикации: | RU | Рег. номер заявки: | 95111196 |
|
|
|
Имя заявителя: | Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | Изобретатели: | Будагян Б.Г. Айвазов А.А. Шерченков А.А. Филатова И |
Реферат | |
Изобретение относится к оптоэлектронике и может найти применение в качестве приемника излучения с избирательной чувствительностью в ИК-области при создании фоточувствительных устройств. Предложенный датчик ИК-излучения обладает избирательной фоточувствительностью в ближней ИК-области спектра с максимумом 102 на длине волны 1,08 μm, совместим со стандартной кремниевой технологией, применяемой в микроэлектронике, и не требует охлаждения при своей работе. Датчик ИК-излучения содержит монокристаллическую кремниевую подложку р-типа проводимости с удельным сопротивлением более 20 0м, сформированный на ней слой из аморфного кремния n-типа проводимости толщиной от 1,6 до 2,0 мкм и омические контакты к ним.
|