RU 2139601 C1, 10.10.1999. RU 2210142 C1, 10.08.2003. RU 92243 U1, 10.02.2010. RU 2410794 C2, 27.01.2011. WO 2008010782 A1, 24.01.2008. EP 1968123 A2, 10.09.2008. WO 2011/025371 A1, 03.03.2011.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Солнечный ветер" (RU)
Изобретатели:
Закс Марат Борисович (RU) Солодуха Олег Иосифович (RU) Ситников Андрей Михайлович (RU) Коломоец Галина Юрьевна (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Солнечный ветер" (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу изготовления солнечных элементов (СЭ). Способ включает в себя нанесение фосфоросодержащей 3 и боросодержащей 2 пленок соответственно на первую и противоположную вторую поверхности кремниевой подложки 1, одновременную диффузию фосфора и бора из соответствующих пленок в поверхности первой и второй сторон подложки 1 соответственно при повышенной температуре, удаление поверхностного слоя 4, легированного фосфором, при одновременном создании текстурированной поверхности на первой стороне подложки 1, создание легированного фосфором слоя 7 на текстурированной поверхности и формирование контактной системы 8. Содержание фосфора в фосфоросодержащей пленке 3 выбирают таким, чтобы концентрация фосфора на всех участках поверхности, покрытой фосфоросодержащей пленкой 3, превышала после указанной диффузии концентрацию бора на этих участках. Изобретение обеспечивает повышение эффективности СЭ за счет устранения эффекта перекрытия n+ и р +-слоев. 6 з.п. ф-лы, 2 ил., 3 табл., 2 пр.