Тезисы докладов XIX Международной научно-технической конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения 23-26 мая 2006 г. Киселева Л.В. и др. Исследование характеристик матричного фотоприемника с тонкой базовой областью на основе InSb, 2006, с.118. RU 2137259 C1, 10.09.1999. RU 2343590 C1, 10.01.2009. RU 2377694 C1, 27.12.2009. RU 2069028 C1, 10.11.1996. US 4746618 A, 24.05.1988.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "НПО "Орион" (RU)
Изобретатели:
Болтарь Константин Олегович (RU) Киселева Лариса Васильевна (RU) Лопухин Алексей Алексеевич (RU) Савостин Александр Викторович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "НПО "Орион" (RU)
Реферат
Изобретения относится к технологии изготовления полупроводниковых фотоприемников и могут использоваться для создания матричных фотоприемников различного назначения. Способ изготовления матричного фотоприемника заключается в том, что фоточувствительный элемент гибридизируют с БИС мультиплексора индиевыми столбиками, образуя тем самым заготовку фотоприемника, и утоньшают базовую область фоточувствительного элемента, при этом после гибридизации фоточувствительного элемента с БИС мультиплексора полученную заготовку приклеивают на крепежное устройство, состоящее из подложки и калибровочного диска, при этом сначала заготовку приклеивают на подложку, а затем заливают термоклеем пространство между калибровочным диском и заготовкой, в том числе и пространство между индиевыми столбиками, зачищают боковые поверхности базовой области фоточувствительного элемента от клея до поверхности калибровочного диска, утоньшают базовую область фоточувствительного элемента, отклеивают заготовку фотоприемника и промывают ее от термоклея, в том числе и пространство между индиевыми столбиками. Изобретение обеспечивает простые и надежные способы закрепления заготовки фотоприемника, состоящей из фоточувствительного элемента и БИС мультиплексора, для осуществления последующей операции утоньшения базовой области фоточувствительного элемента до конечной величины. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 15 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента