На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО ПРИБОРА СВЧ | |
Номер публикации патента: 2076396 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L031/18 | Аналоги изобретения: | Заявка ФРГ N 3234907, кл. H 01 L 21/94, 1984. Патент США N 4436766, кл.427-96, 1984. |
Имя заявителя: | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" | Изобретатели: | Темнов А.М. Темнова С.Л. Зверева Г.В. | Патентообладатели: | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления интегральных приборов СВЧ. Сущность изобретения: перед формированием верхнего уровня металлизации формируют полоски из фоторезиста по линиям пересечения верхнего уровня металлизации с нижним, причем после задубливания фоторезиста проводят его ступенчатый прогрев при температурах 200 - 210oC и 400 - 410oC в течение времени 20 - 25 мин на каждой ступени. 2 ил.
|