На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ДАТЧИК | |
Номер публикации патента: 95103211 | |
Вид документа: | A1 | Страна публикации: | RU | Рег. номер заявки: | 95103211 |
|
|
|
Имя заявителя: | Соколов А.Г. | Изобретатели: | Соколов А.Г. Кремлев В.Я. Баринов К.И. Рапидов М.О. Семенов |
Реферат | |
Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, электронных систем безопасности транспортных средств, а также навигационных систем и средств обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральный датчик микроперемещений содержит два чувствительных элемента, выполненных в виде консоли с сейсмическими массами, размещенный один под другим во взаимоперпендикулярных направлениях. Причем на поверхностях чувствительных элементов размещены подвижные обкладки конденсаторов переменной емкости, позволяющие с высокой точностью определять величины микроперемещения по двум координатам. Сейсмические массы, консоли выполнены в объеме материала полупроводниковой подложки.
|