|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ БАЛОЧНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 94003020 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94003020 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Акционерная компания "Технологический центр" | | Изобретатели: | Шелепин Н.А. |
Реферат | |
Прибор предназначен для применения в устройствах измерения перемещений, ускорений, деформации, силы и давления.Интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой монокристалл, изготовленный из кремниевой подложки n-типа проводимости с концентратором механических напряжений в виде поперечного углубления заданных размеров со стороны нерабочей поверхности. На рабочей поверхности концентратора методами интегральной технологии сформированы диффузионные тензорезисторы p-типа, соединенные металлизацией в мостовую схему. Узлы мостовой схемы выведены на контактные площадки, расположенные вне коцентратора. Каждый тензорезистор состоит из двух одинаковых, соединенных последовательно металлизацией частей, которые расположены симметрично относительно средней линии концентратора. Каждая часть тензорезистора окружена высоколегированной областью n+ - типа. На рабочей поверхности сформировано не менее одного омического контакта к кристаллу, выведенного металлизацией на отдельную контактную площадку. 1 з.п.ф-лы,4 ил.
|
Поиск патентов