На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ И ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2362133 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01L009/04 H01L029/84 | Аналоги изобретения: | DE 102005053876 A1, 24.05.2007. RU 2005295 С1, 30.12.1993. SU 746217 A1, 05.07.1980. SU 1302154 A1, 07.04.1987. US 4542435 А, 17.09.1985. |
Имя заявителя: | Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU) | Изобретатели: | Данилова Наталья Леонтьевна (RU) Панков Владимир Валентинович (RU) Суханов Владимир Сергеевич (RU) | Патентообладатели: | Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для обеспечения высокоточного измерения абсолютного давления в широком диапазоне температур и давлений. Техническим результатом изобретения является обеспечение защиты микроэлектронного датчика от воздействия окружающей среды, а также повышение его надежности, работоспособности и стабильности.
|