На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2362132 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01L009/04 H01L029/84 | Аналоги изобретения: | US 4065970 A, 03.01.1978. RU 2005295 C1, 30.12.1993. RU 2035089 C1, 10.05.1995. SU 1613888 A1, 15.12.1990. FR 2409500 A1, 15.06.1979. |
Имя заявителя: | Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU) | Изобретатели: | Данилова Наталья Леонтьевна (RU) Панков Владимир Валентинович (RU) Суханов Владимир Сергеевич (RU) Михайлов Юрий Александрович (RU) | Патентообладатели: | Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано для измерения механических воздействий. Техническим результатом изобретения является повышение эффективности, а также и расширение функциональных возможностей. Интегральный преобразователь давления выполнен в виде монокристаллической кремниевой пластины, ориентированной в плоскости (100), n-типа проводимости, с первой стороны которой сформированы диффузионные тензорезисторы p-типа проводимости, вытянутые в направлении [011] и объединенные в мост Уитстона.
|