|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РЕГУЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОГО ПОВЕДЕНИЯ СТРУКТУР В УСТРОЙСТВЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ |  |
Номер публикации патента: 2348088 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L029/82 | | Аналоги изобретения: | US 6376787 A, 23.04.2002. WO 9530924 A1, 16.11.1995. US 5022745 A, 11.06.1991. RU 2100831 C1, 27.12.1997. SU 1525946 A1, 24.02.1987. |
| Имя заявителя: | АйДиСи, ЭлЭлСи (US) | | Изобретатели: | МАЙЛС Марк В. (US)
БЕЙТИ Джон (US)
ЧУЙ Клэренс (US)
КОТАРИ Маниш (US) | | Патентообладатели: | АйДиСи
ЭлЭлСи (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к тонкопленочным структурам в устройствах микроэлектромеханических систем и к электромеханическому и оптическому откликам этих тонкопленочных структур. Устройство микроэлектромеханических систем (МЭМС) содержит: подложку, электростатически смещаемый слой, электрод, размещенный поверх подложки, между электродом и смещаемым слоем расположен воздушный зазор, слой улавливания электрических зарядов, содержащий материал, способный улавливать как положительные, так и отрицательные
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента