На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ РЕЗОНАТОР | |
Номер публикации патента: 2293397 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L029/68 | Аналоги изобретения: | SU 1524774 A1, 27.09.1996. RU 2179356 C2, 27.05.1999. US 5075641 A, 24.12.1991. EP 1480335 A2, 24.11.2004. WO 94/28592 A1, 08.12.1994. |
Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Кавказский государственный технический университет" (RU) | Изобретатели: | Синельников Борис Михайлович (RU) Каргин Николай Иванович (RU) Пагнуев Юрий Иванович (RU) Штаб Эдуард Владимирович (RU) Штаб Александр Владимирович (RU) Свистунов Игорь Викторович (RU) | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Кавказский государственный технический университет" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к элементам микро- и наноэлектроники и может быть использовано в качестве резонатора в устройствах микро- и наноэлектроники как элемент, стабилизирующий несущую тактовую частоту. Технический результат, достигаемый при реализации заявленного изобретения, заключается в уменьшении размеров резонатора, ограниченных методом литографии; получении элемента непосредственно в интегральных схемах; изготовлении резонатора с параметрами, заданными непосредственно при технологическом про
|