На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2284613 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L029/84 G01L009/04 | Аналоги изобретения: | SU 1732199 A1, 07.05.1992. SU 1835913 A1, 10.09.1995. SU 1326915 A1, 30.07.1987. RU 2035089 C1, 10.05.1995. FR 2513441 A, 25.03.1983. |
Имя заявителя: | ФГУП "НИИ физических измерений" (RU) | Изобретатели: | Баринов Илья Николаевич (RU) Козин Сергей Алексеевич (RU) | Патентообладатели: | ФГУП "НИИ физических измерений" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к преобразователям малых давлений, и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей давления, работоспособных при повышенных температурах. Технический результат изобретения: повышение чувствительности преобразователя при сохранении собственной резонансной частоты, повышение его надежности, повышение диапазона линейного преобразования, повышение стабильности характеристик при р
|