|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЕРФОРИРОВАННАЯ МЕМБРАНА ДЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ПРИБОРА |  |
Номер публикации патента: 2265913 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L029/84 | | Аналоги изобретения: | SU 1385951 A1, 28.02.1994. RU 2042411 C1, 27.08.1995. RU 2132559 C1, 27.06.1999. US 2003119220 А1, 26.06.2003. ЕР 0783108 А1, 09.07.1997. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ("ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (СПб ГЭТУ) (RU) | | Изобретатели: | Корляков А.В. (RU)
Лучинин В.В. (RU)
Белых С.В. (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ("ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (СПб ГЭТУ) (RU) |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронном приборостроении, при конструировании чувствительного элемента микромеханического прибора. Сущность изобретения: мембрана чувствительного элемента микромеханического прибора перфорирована сквозными отверстиями с образованием тригональных или тетрагональных фигур, расположенных из расчета пересечения элементами перфорации линий, соединяющих центры смежных фигур.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента