На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ БАЛОЧНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ | |
Номер публикации патента: 2050033 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L029/84 | Аналоги изобретения: | Roylance L.M., Angell J.B. A miniature integrated circuit accelerometer. 1978. JEEE, Digest of techn. napers, p.220-221. |
Имя заявителя: | Акционерная компания "Технологический центр" | Изобретатели: | Шелепин Н.А. | Патентообладатели: | Акционерная компания "Технологический центр" |
Реферат | |
Использование: в устройствах измерения перемещений, ускорений, деформации, силы и давления. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой монокристалл, изготовленный из кремниевой подложки n-типа проводимости с концентратором механических напряжений в виде поперечного углубления заданных размеров со стороны не рабочей поверхности.
|