На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МДП - ТРАНЗИСТОР | |
Номер публикации патента: 1809707 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L029/772 | Аналоги изобретения: | Заявка ФРГ N 3813665, кл. H 01 L 29/78, 1988. Заявка Великобритании N 2185350, кл. H 01 L 29/78, 1987. |
Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Интеграл" | Изобретатели: | Красницкий В.Я. Довнар Н.А. Смаль И. |
Реферат | |
Использование: электронная техника и при изготовлении МДП СБИС. Сущность изобретения: МДП транзистор включает выполненный на поверхности полупроводниковой подложки затвор с вертикальными стенками и пристеночными диэлектрическими областями, сформированные в полупроводниковой подложке по обе стороны от затвора исток-стоковые области, образованные слоями с примесной проводимостью одного и того же типа, но с различной концентрацией, причем диффузионный профиль области с меньшей концентрацией, залегающий на меньшей глубине, совмещен с краем затвора, а диффузионный профиль области с большей концентрацией, залегающей на большей глубине, совмещен с наружным краем пристеночной области, выполненный между слоями с меньшей и большей концентрациями, дополнительный третий слой с примесью того же типа проводимости, что и у первых двух, причем значение концентрации третьей примеси находится в промежутке между значениями величин концентрации первых двух и его диффузионный профиль лежит между диффузионными профилями первых двух областей. 1 ил. 1 табл.
|