US 5923071 А, 13.07.1999. US 2005/0205930 А1, 22.09.2005. US 2002/0139970 A1, 03.10.2002. DE 10313005 A1, 14.10.2004. ЕР 1005257 A2, 31.05.2000. RU 2102821 C1, 20.01.1998.
Имя заявителя:
КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС ЭЛЕКТРОНИКС, Н.В. (NL)
Изобретатели:
АГАРВАЛ Прабхат (BE) СОНСКИ Ян (BE) КАУППИНЕН Лассе Юхана (FI)
Патентообладатели:
КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС ЭЛЕКТРОНИКС, Н.В. (NL)
Приоритетные данные:
01.02.2006 US 60/766,617
Реферат
Изобретение относится к фотодатчикам, и, в частности, к фотодиодам лавинного режима. В частности, оно находит применение в датчиках излучения для медицинского оборудования для формирования изображений, а также в других ситуациях, в которых требуется относительно быстрое и эффективное фотодетектирование. Технический результат - повышение квантовой эффективности устройства. Фотодиодная матрица (102) лавинного режима изготовляется с использованием пластины из кремния на диэлектрике и процесса переноса подложки. Матрица включает в себя множество фотодиодов (100). Фотодиоды (100) включают в себя электроизолирующий слой (206), обедненную область (204) и первую (208) и вторую (210) легированные области. Слой (212) межсоединений включает в себя электроды (214, 216), которые обеспечивают электрические соединения с фотодиодами. Фотодиодная матрица (102) опирается на несущую пластину (217). 6 н. и 28 з.п. ф-лы, 7 ил.