|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПРЯМОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО РИСУНКА |  |
Номер публикации патента: 2103847 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05K003/10 H01L027/01 | | Аналоги изобретения: | 1. G.E.Blonder, G.S.Higashi, C.G.Fleming. Lasser projection patterned aluminum metallization for integrated circuit applications. Appl. Phys. lett, p.766-768. 2. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. - Л.: Машиностроение, 1986, с.65. |
| Имя заявителя: | Сибирская государственная геодезическая академия | | Изобретатели: | Чесноков В.В. | | Патентообладатели: | Сибирская государственная геодезическая академия |
Реферат | |
Применение: изобретение относится к микроэлектронике, в частности к изготовлению тонкопленочных рисунков с помощью лазерного луча. Сущность изобретения: при импульсном облучении подложки, у поверхности которой создана атмосфера паров разлагаемого лучом соединения, спроецированным на подложку перемещаемым световым пятном, пятно за период импульсов сдвигают на подложке на расстояние, по крайней мере, в 2 раза меньшем размера пятна в направлении перемещения. Дополнительно предлагается путем подбора давления паров и температуры подложки осаждать слои толщиной порядка единиц монослоев. Для повышения четкости края световое пятно в его границах предлагается сканировать перемещением луча в направлении, поперечном к перемещению светового пятна. 2 з. п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента