На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МНОГОСЛОЙНАЯ КОНТАКТНАЯ СИСТЕМА К КРЕМНИЕВОЙ СТРУКТУРЕ С МЕЛКОЗАЛЕГАЮЩИМ P - N ПЕРЕХОДОМ | |
Номер публикации патента: 2217844 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L023/48 | Аналоги изобретения: | US 5426331 А, 20.06.1995. US 5260603 А, 09.11.1993. SU 1581150 А1, 15.09.1994. SU 1195849 А1, 15.06.1994. |
Имя заявителя: | Болтовец Николай Силович (UA),Веремейченко Георгий Никитович (UA),Коростинская Тамара Васильевна (UA) | Изобретатели: | Болтовец Николай Силович (UA) Веремейченко Георгий Никитович (UA) Коростинская Тамара Васильевна (UA) | Патентообладатели: | Болтовец Николай Силович (UA) Веремейченко Георгий Никитович (UA) Коростинская Тамара Васильевна (UA) |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, предназначено для изготовления контактных систем к полупроводниковым приборам с мелкозалегающими р-n переходами. Сущность изобретения: многослойная контактная система к кремниевой структуре с мелкозалегающим р-n переходом содержит омический контакт на основе силицидов металлов платиновой группы, барьерный слой из нитрида титана, адгезионный слой титана.
|