|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ОХЛАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2193258 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L023/467 | | Аналоги изобретения: | RU 2153209 С, 20.07.2000. SU 1799196 A1, 20.12.1995. RU 2012174 C1, 30.04.1999. FR 2527837 A, 02.12.1983. US 5190099 A, 02.03.1993. US 5491610 А, 13.02.1996. |
| Имя заявителя: | Воронежская государственная технологическая академия | | Изобретатели: | Абрамов Г.В.
Битюков В.К.
Коваленко В.Б.
Попов Г.В. | | Патентообладатели: | Воронежская государственная технологическая академия |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Устройство охлаждения полупроводниковых пластин содержит корпус с периферийной пневмокамерой, соединенной с магистралью подачи газа или воздуха и с рабочей зоной с одной его внешней стороны для размещения пластины, сообщающейся с пневматической камерой посредством сопел, средства изменения расхода газа или воздуха, блок управления, д
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента