На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МАТРИЧНОГО ТАКТИЛЬНОГО ДАТЧИКА | |
Номер публикации патента: 2118871 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L023/08 | Аналоги изобретения: | 1. R. Woffenbuttel and P. Regtien, Integrated tactile Cmager with an intrinsic contour detection option, Sensors and Actuators, V. 16 (1989), pp. 141 - 153. 2. K. Suruki, K. Najafi. and K.D. Wise, A 1024-element high-performance Silicon tactile image, IEEE Transaction on Electron Devices, v. 17, (1990) pp. 1852 - 1859. 3. JP 61-208273 A, 1986. 4. 23335044 A1, 1977. 5. Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. - М.: Энергоатомиздат, 1983, с. 111. |
Имя заявителя: | Научно-производственный комплекс "Технологический центр" | Изобретатели: | Годовицын И.В. Шелепин Н.А. Парменов Ю.А. | Патентообладатели: | Научно-производственный комплекс "Технологический центр" |
Реферат | |
Использование: в измерительной технике. Технический результат изобретения заключается в повышении надежности за счет увеличения сцепления между пленкой с поверхностью матрицы сенсоров. Сущность: чувствительный элемент (ЧЭ) содержит основание, матрицу сенсоров давления, которая размещена на основании, и полимерную пленку поверх матрицы. Полимерная пленка закреплена по периметру матрицы на основании, и объем, образуемый полимерной пленкой и основанием, заполнен газовой средой с пониженной концентрацией газов. При условии работы ЧЭ в нормальных условиях оптимальная концентрация газов находится в диапазоне от 2,5·1015 м-3 до 2,5·1025 м-3. 2 ил.
|