|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДП ИС |  |
Номер публикации патента: 95111281 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95111281 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Бабаев Б.А. | | Изобретатели: | Бабаев Б.А.
Гуреев С.А.
Дерендяев В.В.
Зеленцов А.В.
Сельков Е.С.
Щетинин |
Реферат | |
Изобретение относится к интегральной микроэлектронике и может быть использовано при разработке и производстве одноканапьных и взаимодополняющих МДП ИС цифрового, линейного и аналогового применения. Сущностью настоящего изобретения является способ иэготовпения МДП ИС, основанный на последовательности формирования в слоях нитрида кремния и поликристаллического кремния затворов и разделительных областей между стоками и охранными зонами, легирования областей стоков, истоков и охранных областей, удаления нитрида кремния с разделительных областей между стоками и охранными зонами, термического окисления, удаления нитрида кремния, вскрытия контактных окон к диффузионным областям и создание разводки металлом, что повышает процент выхода годных ИС и их стойкость к внешния воздействиям, благодаря планаризации структуры и высокой концентрации примеси в областях охранных зон.
|
Поиск патентов