|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ |  |
Номер публикации патента: 95110215 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95110215 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники РАН | | Изобретатели: | Амиров И.И.
Изюмов М.О |
Реферат | |
Изобретение относится к способам плазмохимического травления материалов микроэлектроники и может быть использовано в производстве интегральных схем. В способе травления путем воздействия на материал, помещенный на подложкодержатель, находящийся в магнитном поле и под ВЧ-напряжением частотой 13,56 Мгц, химически активной плазмой ВЧ-индукционного разряда пониженного давления вне зоны ее преимущественной генерации, плазму генерируют ВЧ-индукционным разрядом частотой 40-500 Мгц в магнитном поле напряженностью 30-300 Э при пониженном давлении.
|
Поиск патентов