На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА

Номер публикации патента: 95108003

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95108003

Реферат

Изобретение относится к полупроводниковой электронике и позволяет производить локальное плазмохимическое травление материала материала и получать при этом практически любую фигуру травления без использования маски. Способ предусматривает размещение материала между двумя электродами и образование области электрического разряда в газе между материалом и злектродом первым подачей на электроды высокого напряжения. Локальность травления в предложенном способе обеспечивается тем, что размеры области электрического разряда в газе у поверхности материала малы и поэтому разряд контактирует лишь с частью поверхности материала. Для этого те размеры первого , электрода которые определяют размеры области разряда, должны быть меньшими, а давление газа должно быть большим тех их значений, при которых для данного расстояния между первым злектродом и материалом разряд контактирует со всей поверхностью материала. Получаемая фигура травления с большой точностью повторяет форму и размеры той части поверхности первого , электрода через которую происходит электрический разряд в газе, если расстояние между первым злектродом и злектродом меньше 2 мм, а давление газа больше 10 мм рт.ст.

Вернуться к списку