|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО ДАТЧИКА |  |
Номер публикации патента: 95103355 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95103355 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Соколов А.Г. | | Изобретатели: | Соколов А.Г.
Кремлев В.Я.
Баринов К.И.
Рапидов М.О.
Семенов |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве интегральных схем датчиков микроперемещений или изделий точной механики. Сущность изобретения: способ предусматривает нанесение на поверхности исходной пластины из монокристаллического кремния n-типа проводимости химически стойких покрытий с последующей фотолитографической обработкой и проведением термоэлектромиграции атомов алюминия на глубину, обеспечивающую механическую прочность чувствительных элементов, выполненных в виде балок или консолей с сейсмическими массами, и удалением методами селективного химического травления материала исходной подложки для полного разделения чувствительных элементов, размещенных друг под другом во взаимоперпендикулярных направлениях.
|
Поиск патентов