|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ НЕЙТРОННО - ТРАНСМУТАЦИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 94038614 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94038614 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Варлачев В.А.
Солодовников Е.С.
Фотин А.В.
Цибульников Ю |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых материалов для приборов электронной и электротехнической промышленности. Для использования каналов реактора, в которых невозможно за зоной облучения разместить контейнер со слитками кремния, в способе нейтронно-трансмутационного легирования кремния, вклачающем возвратно-поступательное перемещение контейнера через зону облучения по каналу реактора и контроль за усредненным по длине слитков флюенсом нейтронов, предварительно в канале реактора формируют нейтронное поле и вдоль канала выбирают участок, на котором распределение плотности потока тепловых нейтронов является четной функцией. В контейнере размещают слитки кремния общей длиной не более длины выбранного участка в канале. В процессе облучения контейнер со слитками перемещают по каналу из одного крайнего положения, в котором слитки расположены за пределами зоны облучения, в другое, в котором середина длины слитков совмещена со срединой выбранного участка. После облучения половинным от требуемого флюенсом нейтронов процесс облучения прерывают, контейнер разворачивают, меняя местами его торцы, и точно так же дооблучают контейнер оставшимся флюенсом нейтронов.
|
Поиск патентов