|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕМ |  |
Номер публикации патента: 94036273 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94036273 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Воронежский технологический институт | | Изобретатели: | Абрамов Г.В.
Битюков В.К.
Попов Г.В.
Рыжков В |
Реферат | |
Изобретение относится к области полупроводникового производства и может быть использовано при нанесении покрытий (например, из фоторезиста) на пластины. Технической задачей изобретения является повышение равномерности слоя покрытия. Сущность способа в том, что после нанесения дозы раствора на вращающийся со скоростью 5000-7000 об/мин пластину, полного покрытия раствором всей поверхности, в течение 10-15 с формируют равномерный слой, изменяя скорость вращения пластины. Предлагаемый способ позволяет уменьшить неравномерность получаемого слоя на 9-10%.
|
Поиск патентов