На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЫ

Номер публикации патента: 94030214

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94030214

Реферат

Изобретение относится к области измерений электрофизических параметров полупроводниковых пластин и структур при производстве интегральных микросхем и может быть использовано для оптимизации технологических процессов. Сущность способа: освещают локальную область поверхности пластины модулированным монохроматическим излучением на разных длинах волн и измеряют сигналы фото-ЭДС. Выбирают потоки из анализа зависимости фото-ЭДС от них и измеряют потоки. Освещают симметричную область на обратной стороне пластины модулированным монохроматическим излучением на разных длинах волн и измеряют сигналы фото-ЭДС на исходной стороне пластины. Выбирают потоки из анализа зависимости фото-ЭДС на этой стороне от них и измеряют эти потоки. Искомые значения определяют расчетным путем с использованием соответствующих коэффициентов поглощения. Устройство содержит предметный столик с отверстием, два перестраиваемых по длине волны источника монохроматического, регулируемого и модулированного по интенсивности излучения, два оптических элемента формирования пространственно-ограниченного потока, расположенных по разные стороны от плоскости столика и оптически связанных через оптическую систему передачи излучения с источниками, датчик фото-ЭДС с электродом емкостной связи, расположенным между одним из оптических элементов к плоскости столика, фотоприемник, оптически связанный с двумя источниками и блок регистрации и управления, вход которого связан с датчиком фото-ЭДС, а выход с источниками излучения. 2 н. и 27 з.п. ф-лы, 1 ил.

Вернуться к списку