|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПАРОФАЗНО - ХИМИЧЕСКОГО СТИМУЛИРОВАННОГО ПЛАЗМОЙ ОСАЖДЕНИЯ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОЙ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 94025087 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94025087 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Гусев В.К.
Кондрашевский В.П.
Самохвалов Р.В.
Донина М |
Реферат | |
Использование: в области аналитического приборостроения, а именно в способах получения газочувствительной пленки датчиков газа. Технический результат: получение чувствительных пленок для газовых датчиков, имеющих одновременно высокую чувствительность и заданную селективность. Сущность изобретения: помещают подложку в реактор, производят предварительную откачку реактора, нагрев подложки до температуры 280 - 300°С, напуск в реактор смеси реактивных газов, состоящей из кислорода и тетраэтилолова, при этом устанавливая конкретное соотношение компонентов по объему из интервала кислород:тетраэтилолова как 0,2 - 3 : 1, включение ВЧ-разряда и выдержку подложки при плотности мощности от 0,1 до 0,4 Вт/см2.
|
Поиск патентов