|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 94025085 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94025085 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Дагестанский политехнический институт | | Изобретатели: | Саркаров Т.Э.
Хасбулатов Х.А.
Исабеков И. |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов в частности, к способам получения пленок, содержащих бор, на поверхности полупроводниковых материалов. Цель: снижение температуры и упрощение технологии процессa. Процесс ведут из газовой фазы, содержащей гомогенную смесь тетрахлорида кремния (SiCl4), кислорода с добавкой окиси азота и трихлорида бора 50 - 200oC, при следующем соотношении компонентов, SiCl416 - 17, O2-16. ..17 BCl3 1,2 - 2,5, NO - остальное.
|
Поиск патентов