

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ЖИДКАЯ КОМПОЗИЦИЯ, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКИ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДЛОЖКИ ДЛЯ ГОЛОВКИ ДЛЯ ВЫБРОСА ЖИДКОСТИ

Номер публикации патента: 2468467

Вид документа:	C2
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2011103060/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	H01L021/308
Аналоги изобретения:	US 2010/0001375 A1, 07.01.2010. US 2008/0050610 A1, 28.02.2008. US 2007/0054460 A1, 08.03.2007. US 7017419 B2, 28.03.2006. US 2009/0065473 A1, 12.03.2009. US 6020272 A, 01.02.2000. US 5116464 A, 26.05.1992. RU 2106717 C1, 10.03.1998. US 2008/0073319 A1, 27.03.2008.

Имя заявителя:	КЭНОН КАБУСИКИ КАЙСЯ (JP)
Изобретатели:	АБО Хироюки (JP) ЙОНЕМОТО Таити (JP) КОЯМА Судзи (JP) ФУРУСАВА Кента (JP) КИСИМОТО Кейсуке (JP)
Патентообладатели:	КЭНОН КАБУСИКИ КАЙСЯ (JP)
Приоритетные данные:	28.01.2010 JP 2010-017006

Реферат

Изобретение относится к жидкой композиции, способу получения кремниевой подложки и к способу получения подложки для головки для выброса жидкости. Сущность изобретения: жидкая композиция, используемая для проведения анизотропного травления кристалла кремниевой подложки, снабженной маской для травления, формируемой из пленки оксида кремния, включает гидроксид цезия, щелочное органическое соединение и воду, в которой отношение по массе гидроксида цезия к массе жидкой композиции составляет 1% мас. до 40% мас. включительно. Изобретение обеспечивает повышение скорости анизотропного травления кремния при снижении травления пленки оксида кремния, используемой в качестве маски. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 4 ил., 2 табл., 8 пр.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"