US 6320391 B1, 20.11.2001. US 5264377 A, 23.11.1993. US 6822437 B1, 20.11.2001. US 7683651 B2, 23.03.2010. WO 02/067318 A2, 29.08.2002. SU 1807427 A1, 07.04.1993. SU 1152449 A1, 27.12.1996.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Ангстрем-М" (RU)
Изобретатели:
Фоминых Сергей Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Ангстрем-М" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для контроля надежности металлизации, а именно металлической разводки, при производстве интегральных микросхем. Сущность изобретения: тестовая структура состоит из проводника металла с двумя выводами для подключения источника тока и двумя потенциальными выводами для измерения падений напряжения при протекании тока через проводник. К проводнику металла присоединен сбоку дополнительный проводник из металла, при этом у этого проводника есть токовый и потенциальный выводы на свободном конце и потенциальный вывод в области его подсоединения к проводнику. На данной тестовой структуре проводятся испытания металлических проводников на надежность. Изобретение обеспечивает повышение информативности о допустимой плотности тока металлизации при учете особенностей металлической разводки в интегральной микросхеме. 5 ил., 3 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента