Butler Jeffrey T et al, Multichip module packaging of microelectome-chanical systems. Sensor and Actuators A: Physical. V.70, 1-2, 1 October 1998, pages 15-22. US 4714516 A, 22.12.1987. US 4689467 A, 25.08.1987. US 2005/221586 A1, 06.10.2005. RU 2272335 C2, 20.03.2006.
Имя заявителя:
САНТР НАСЬОНАЛЬ Д'ЭТЮД СПАСЬАЛЬ (FR)
Изобретатели:
ДЕСПЛАТ Ромэн (FR) ОБЬЕН Михаэль (FR)
Патентообладатели:
САНТР НАСЬОНАЛЬ Д'ЭТЮД СПАСЬАЛЬ (FR)
Приоритетные данные:
28.12.2006 FR 0611489
Реферат
Изобретение относится к вскрытию поверхности интегральной схемы. Сущность изобретения: способ вскрытия интегральной схемы путем абляции полимерной оболочки, первоначально покрывающей интегральную схему, характеризуется тем, что включает комбинированное воздействие лазерным лучом и плазмой на оболочку, при этом комбинированное воздействие осуществляют в одном и том же замкнутом пространстве. Представлена также установка для осуществления данного способа. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 5 ил.