Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. - Л.: Машиностроение, 1986. Вьюков Л.А. и др. Лазерные процессы в технологии микроэлектроники. Изв. АН СССР, Сер. Физ., 1987, Т.51, 6, с.1203-1210. RU 2387044 C1, 20.04.2010. RU 2380195 C1, 27.01.2010. RU 2373303 C1, 20.11.2009. RU 2305065 C2, 27.08.2007. WO 2006/115453 A1, 02.11.2006. WO 03/057624 A1, 17.07.2003.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУ ВПО "СГГА") (RU)
Изобретатели:
Чесноков Владимир Владимирович (RU) Чесноков Дмитрий Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУ ВПО "СГГА") (RU)
Реферат
Изобретение относится к микроэлектронике, оптической и оптоэлектронной технике, к нелитографическим микротехнологиям формирования на подложках тонкопленочных рисунков из наносимых на ее поверхность веществ. Сущность изобретения: способ образования на подложке упорядоченного массива наноразмерных сфероидов заключается в переносе вещества пленки, нанесенной на поверхность прозрачной пластины-донора, на акцепторную подложку путем импульсного лазерного облучения пленки сквозь пластину, при этом между упомянутой пленкой и пластиной наносят жертвенный подслой, который при упомянутом облучении испаряется. Изобретение обеспечивает повышение разрешающей способности формирования рисунка, получение возможности изготовления микроструктур с минимальными размерами, много меньшими длины волны излучения, инициирующего технологический процесс. 4 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента