Бондарчук Н.Ф. и др. Структура конденсированных пленок теллура и свойства. Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1989, т.25, 2, с.189-194. SU 1767049 А1, 07.10.1992. US 2009/0299084 А1, 03.12.2009. JP 2927420 В1, 28.07.1999. KR 20090090222 А, 25.08.2009.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования Дагестанский государственный университет (RU)
Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования Дагестанский государственный университет (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при производстве изделий микроэлектроники. Техническим результатом изобретения является получение пленок и слоев теллура монокристаллической структуры на ориентирующих подложках. Сущность изобретения: получают пленки и слои теллура монокристаллической структуры на гранях кристаллов путем перевода теллура в моноатомный пар и роста из него образцов монокристаллической структуры, при этом процесс осаждения проводят в атмосфере водорода при РН2=1,8 атм, температуре исходного теллура Т2=600°С и температуре зоны подложки T1=400°C. 4 ил.