FR 2248764 А, 16.05.1975. SU 1014071 А1, 23.04.1983. SU 856053 А, 15.08.1981. US 6153533 А, 28.11.2000. US 4653636 А, 31.03.1987. ЕР 0100539 А2, 15.02.1984.
Имя заявителя:
Зайцев Игорь Иванович (RU), Максимова Валентина Дмитриевна (RU), Сейфединова Рушания Мансуровна (RU), Скачкова Дарья Александровна (RU), Сорокин Юрий Иванович (RU), Широкова Марина Валентиновна (RU), Скорова Галина Валериановна (RU)
Изобретатели:
Зайцев Игорь Иванович (RU) Максимова Валентина Дмитриевна (RU) Сейфединова Рушания Мансуровна (RU) Скачкова Дарья Александровна (RU) Сорокин Юрий Иванович (RU) Широкова Марина Валентиновна (RU) Скорова Галина Валериановна (RU)
Патентообладатели:
Зайцев Игорь Иванович (RU) Максимова Валентина Дмитриевна (RU) Сейфединова Рушания Мансуровна (RU) Скачкова Дарья Александровна (RU) Сорокин Юрий Иванович (RU) Широкова Марина Валентиновна (RU) Скорова Галина Валериановна (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время жидкостной обработки. Сущность изобретения: кассета для жидкостной обработки полупроводниковых пластин содержит четыре цилиндрические стержня, скрепленных по торцам в кассете и выполненных с пазами, продольные оси стержней параллельны между собой. Верхний из стержней выполняет функцию крышки и расположен с возможностью крепления с противоположных торцов после размещения в кассете полупроводниковых пластин, нижний стержень выполняет функцию дна кассеты, а пазы во всех стержнях совмещены таким образом, что обеспечивают размещение каждой обрабатываемой пластины в вертикальной плоскости, перпендикулярной продольным осям стержней, причем пазы в обоих боковых стержнях имеют в сечении П-образную форму. Стержни выполнены из фторопласта, глубина пазов всех стержней составляет 1/2 диаметра стержней. Стержни расположены так, что поперечная плоскость сечения стержней перпендикулярна их продольным осям, а поперечное сечение каждого стержня имеет форму круга, диаметр цилиндрических стержней составляет 0,8-1,2 см. Боковые и нижний стержни размещены относительно друг друга и полупроводниковых пластин таким образом, что центры каждого круга в плоскости поперечного сечения стержней расположены в вершинах правильного пятиугольника, вписанного в окружность, диаметр которой равен диаметру полупроводниковых пластин, при этом эти вершины размещены в нижней половине окружности. Изобретение обеспечивает исключение потерь пластин при обработке.
Поиск патентов
Получить полное описание патента