US 5809626 А, 22.09.1998. US 6348115 В1, 19.02.2002. ЕР 0230562 А1, 05.08.1987. RU 2128544 С1, 10.04.1999. SU 1674934 А1, 07.09.1991.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "ЭЛПА" с опытным производством" (ОАО "НИИ "ЭЛПА") (RU)
Изобретатели:
Итальянцев Александр Георгиевич (RU) Горнев Евгений Сергеевич (RU) Шульга Юлия Викторовна (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "ЭЛПА" с опытным производством" (ОАО "НИИ "ЭЛПА") (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электроники и предназначено для изготовления дискретных и матричных мембранных структур на основе керамики, служащих основой различных сенсоров, акустических приборов и других твердотельных изделий электроники. Техническим результатом изобретения является расширение функциональности дискретных и матричных мембранных структур на основе пьезокерамики, а также повышение предельных параметров изделий электроники на их основе. Сущность изобретения: в способе изготовления мембранных структур, включающем изготовление подложки из сырой керамики, изготовление в этой подложке, по крайней мере, одного отверстия, изготовление заготовки мембраны из сырой керамики, сборку мембранной структуры путем соединения упомянутой заготовки мембраны с поверхностью подложки с отверстиями(ем) так, чтобы она покрывала отверстия, образуя мембраны в области отверстий, и последующую термообработку мембранной структуры для обжига сырой керамики, изготавливают несколько подложек с отверстиями, изготавливают не менее одной заготовки мембран, при сборке мембранной структуры соединение сырых подложек с отверстиями и заготовок мембран проводят более одного раза, сборку завершают присоединением либо очередной подложки или очередной заготовки мембраны, образуя, таким образом, либо одноуровневую мембранную структуру с заглубленной мембраной между плоскостями итоговой подложки, либо многоуровневую мембранную структуру. Предложены три варианта способа изготовления. 3 н. и 6 з.п. ф-лы, 14 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента