RU 2160697 С2, 20.12.2000. US 2002000681 A1, 03.01.2002. DE 10055318 A1, 20.12.2001. RU 2265076 C1, 27.11.2005. Сборник тезисов и докладов научно-технологических секций Международный форум по нанотехнологиям 3-5.12, М., 2008.
Имя заявителя:
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство образования и науки Российской Федерации (RU), Государственное учебно-научное учреждение Физический факультет Московского Государственного университета имени М.В. Ломоносова (RU)
Изобретатели:
Руденко Олег Владимирович (RU) Коробов Александр Иванович (RU) Одина Наталья Ивановна (RU)
Патентообладатели:
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство образования и науки Российской Федерации (RU) Государственное учебно-научное учреждение Физический факультет Московского Государственного университета имени М.В. Ломоносова (RU)
Реферат
Изобретение относится к области нанотехнологий и может быть использовано для изготовления упорядоченных наноструктур, используемых в микро- и наноэлектронике, оптике, нанофотонике, биологии и медицине. Технический результат - расширение класса материалов, из которых можно формировать упорядоченные наноструктуры, повышение точности воспроизведения нанообъектов на подложке выше, стабильность процесса формирования наноструктур в одном технологическом пространстве. Заявляемым способом могут быть изготовлены однослойные и многослойные наноструктуры, в том числе содержащие слои различного состава, а также двухмерные, трехмерные упорядоченные структуры из различных материалов. Согласно способу подложку и исходный субстрат, содержащий наночастицы, располагают с образованием пространства между ними. В указанном пространстве распыляют субстрат в виде облака капель, каждая из которых содержит, по меньшей мере, одну наночастицу. Создание субстрата в виде распыленного облака капель осуществляют посредством ультразвукового воздействия при размещении источника ультразвукового воздействия относительно подложки с возможностью организации распыленного облака капель в указанном пространстве. Управление движением в указанном пространстве и осаждением капель на подложку осуществляют воздействием на них внешними электрическими и/или магнитными полями. 4 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента