S.Park et al., Nature Nanotech. 2009, 4, p.217. RU 97115373 A, 20.07.1999. RU 2215061 C1, 27.10.2003. EP 0299752 A2, 18.01.1989. US 2006276037 A1, 07.12.2006. KR 20030011399 A, 11.02.2003.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "Нанотех-Актив" (RU)
Изобретатели:
Быков Виктор Александрович (RU) Латышев Юрий Ильич (RU) Латышев Александр Юрьевич (RU) Шустин Евгений Германович (RU) Исаев Николай Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Нанотех-Актив" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано для получения атомно-тонких монокристаллических пленок различных слоистых материалов. Сущность изобретения: в способе получения атомно-тонких монокристаллических пленок, включающем выделение тонких монокристаллических фрагментов из исходных слоистых монокристаллов, соединение их с рабочей подложкой и формирование атомно-тонких монокристаллических пленок, после соединения тонких монокристаллических фрагментов с рабочей подложкой помещают рабочую подложку в плазменный реактор и осуществляют последовательное стравливание слоев с тонких монокристаллических фрагментов используя низкоэнергетический монохроматический ионный пучок с энергией, изменяемой в процессе травления, причем пучок ориентирован преимущественно перпендикулярно плоскости рабочей подложки. Техническим результатом изобретения является повышение размеров атомно-тонких монокристаллических пленок. 14 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента