US 6387803 В2, 14.05.2002. SU 1080675 A1, 10.11.1999. SU 884481 A1, 10.11.1999. RU 2113034 C1, 10.06.1998. US 6387799 B1, 14.05.2002. US 6777275 B1, 17.08.2004. US 2007232043 A, 04.10.2007. CN 101051611 A, 10.10.2007.
Имя заявителя:
Белорусский государственный университет (BY)
Изобретатели:
Углов Владимир Васильевич (BY) Черенда Николай Николаевич (BY) Квасов Николай Трофимович (BY) Петухов Юрий Александрович (BY) Асташинский Валентин Миронович (BY) Подсобей Григорий Захарович (BY)
Патентообладатели:
Белорусский государственный университет (BY)
Реферат
Изобретение относится к полупроводниковой технологии. Техническим результатом изобретения является уменьшение величины удельного поверхностного сопротивления и относительного разброса значений поверхностного сопротивления силицидов металлов за счет получения глубокого однородного силицидного слоя и упрощение способа. Сущность изобретения заключается в том, что в способе формирования силицидов металлов, включающем осаждение металла на кремний и его плавление, плавление осуществляют воздействием компрессионного плазменного потока продолжительностью 50-200 мкс, плотностью энергии 8-20 Дж/см2 в переменном магнитном поле, перпендикулярном плоскости осажденного металла, с частотой 1300-2000 Гц или 2100 Гц и индукцией 0,22-12 мТл или 12,5 мТл. 4 ил, 2 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента