RU 2308782 С1, 20.10.2007. RU 2273075 С2, 27.03.2006. RU 2014670 C1, 15.06.1994. RU 94013171 A1, 10.05.1997. US 5406088 A, 11.04.1995. US 4776744 A, 11.10.1988.
Имя заявителя:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Изобретатели:
Быков Виктор Александрович (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники. Сущность изобретения: в нанотехнологический комплекс на основе эпитаксиальных и ионных технологий, включающий камеру загрузки, модуль молекулярно-лучевой эпитаксии, модуль ионной имплантации, транспортную систему с захватом, носители подложек и средства откачки, введен блок переворота подложек, а транспортная система выполнена в виде автономной распределительной камеры с блоком откачки и соединительными фланцами, в которой расположен центральный робот-распределитель с возможностью осевого вращения, а также с возможностью взаимодействия, по меньшей мере, одним захватом носителей подложек с камерой загрузки, модулем молекулярно-лучевой эпитаксии и модулем ионной имплантации, состыкованными через соединительные фланцы с распределительной камерой. Изобретение позволяет расширить функциональные возможности нанотехнологического комплекса. 8 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента