RU 2326818 С1, 20.06.2008. ЕР 1741484 А1, 10.01.2007. WO 2008/102746 А1, 28.08.2008. US 2008108498 А1, 08.05.2008. JP 2008169233 А, 24.07.2008.
Имя заявителя:
Центр Фотохимии Российской Академии наук (RU)
Изобретатели:
Алфимов Михаил Владимирович (RU) Лебедев-Степанов Петр Владимирович (RU) Хохлов Павел Евгеньевич (RU)
Патентообладатели:
Центр Фотохимии Российской Академии наук (RU)
Реферат
Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно к получению нанострукгурированных тонкопленочных материалов с заданными свойствами для микро- и наноустройств: микро- и наносенсоров, чипов, фотонных кристаллов и т.д. Сущность изобретения: в способе получения упорядоченных наноструктурированных пленок на основе наночастиц путем структурирования подложки и последующего нанесения на него слоя сферических наночастиц материала пленки методом центрифугирования наночастиц из дисперсии, структурирование подложки осуществляют путем нанесения на подложку слоя сферических наночастиц большего диаметра, чем наночастицы материала пленки, методом центрифугирования. Изобретение обеспечивает более тонкое структурирование подложки. 3 з.п. ф-лы, 4 ил., 4 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента