SU 1152449 А1, 27.12.1996. SU 1723681 А1, 30.03.1992. RU 2159522 С1, 20.11.2000. US 6476623 В1, 05.11.2002.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (RU)
Изобретатели:
Архипов Алексей Владимирович (RU) Шопин Геннадий Павлович (RU) Арефьев Вячеслав Викторович (RU) Тукмаков Константин Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (RU)
Реферат
Изобретение относится к микроэлектронике и служит для контроля качества металлизации электронных приборов в процессе их производства. Способ позволяет повысить качество диагностики электродиффузионных дефектов металлизации электронных приборов. Сущность изобретения: в способе контроля качества металлизации электронных приборов используют тестовую структуру, выполненную в виде дорожки металлизации, при этом через нее пропускают постоянный ток, перемещая термодатчик, сканируют термический профиль дорожки металлизации, определяют координаты точек, имеющих максимум температуры, для каждой из которых рассчитывают значения производных температуры по длине проводника , по величине производной судят о времени наработки до электродиффузионного отказа, а по знаку производной определяют места возникновения и тип электродиффузионных дефектов, связанных с истощением и накоплением материала проводника. 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента