

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ЛАЗЕРНОГО ОТЖИГА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКИ, СОДЕРЖАЩЕЙ ИМПЛАНТИРОВАННЫЕ СЛОИ

Номер публикации патента: 2368703

Вид документа:	C2
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2007106832/02

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	C23C026/00 H01L021/302
Аналоги изобретения:	SU 623439 A, 23.09.1985. SU 1584649 A1, 15.04.1991. JP 2007-027198 A, 01.02.2007. JP 58060530 A, 11.04.1983. JP 58002208 A, 07.01.1983. JP 07-106246 A, 21.04.1995.

Имя заявителя:	ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) (RU)
Изобретатели:	Исмаилов Тагир Абдурашидович (RU) Шангереева Бийке Алиевна (RU) Шахмаева Айшат Расуловна (RU)
Патентообладатели:	ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) (RU)

Реферат

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, в частности к полной активации доноров и акцепторов при условии полного устранения остаточных дефектов. Проводят лазерный отжиг кремниевой подложки, содержащей имплантированные примесями аморфные слои толщиной 100 нм в среде водородной плазмы при температуре подогрева кремниевой подложки 600 К, или 640 К, или 645 К, или 650 К, или 655 К. Уменьшается образование точечных дефектов в кремниевых подложках.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"