|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА СКОРОСТИ ПОТОКА ГАЗА И ЖИДКОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2353998 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/18 | | Аналоги изобретения: | US 5883310 А, 16.03.1999. RU 2170438 С2, 10.07.2001. US 6923054 В2, 02.08.2005. DE 4041578 А1, 02.07.1992. DE 10058378 А1, 06.06.2002. JP 63282662 А, 18.11.1988. |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской Академии наук (RU),Селезнев Владимир Александрович (RU) | | Изобретатели: | Селезнев Владимир Александрович (RU)
Принц Виктор Яковлевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской Академии наук (RU)
Селезнев Владимир Александрович (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления датчиков скорости потока газа и жидкости в аэродинамике, химии, биологии и медицине. Сущность изобретения: в способе изготовления датчика скорости потока газа и жидкости на планарной поверхности полупроводниковой подложки изготавливают многослойную пленочную структуру, содержащую механически напряженные слои в последовательности: сжатый, растянутый, а также проводящий.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента