|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ НЕОРГАНИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА ИЗ РЕАКЦИОННОГО РАСТВОРА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2340039 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/316 | | Аналоги изобретения: | US 6080683 А, 27.06.2000. US 5506006 А, 09.04.1996. US 5753311 А, 19.05.1998. RU 2060236 C1, 20.05.1996. |
| Имя заявителя: | Уильям Марш Райс Юнивесити (US) | | Изобретатели: | БАРРОН Эндрю Р. (US)
УИТСИТТ Элизабет Энн (US) | | Патентообладатели: | Уильям Марш Райс Юнивесити (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии осаждения диоксида кремния на подложке из раствора при низких температурах таким образом, чтобы получить гомогенный рост диоксида кремния. Сущность изобретения: в способе осаждения неорганического материала из реакционного раствора на подложку посредством химической обработки активируют указанную подложку для роста указанного неорганического материала, погружают указанную подложку в реакционный раствор для осаждения указанного неорганического материала на указан
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента