|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ МОДУЛЯЦИИ ГАЗООБРАЗНЫХ РЕАГЕНТОВ |  |
Номер публикации патента: 2339115 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/3065 | | Аналоги изобретения: | US 6071822 А, 06.06.2000. US 5501893 А, 26.03.1996. WO 01/93323 А2, 06.12.2001. WO 01/08207 A1, 01.02.2001. RU 2192690 C2, 10.11.2002. |
| Имя заявителя: | ЛАМ РИСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Изобретатели: | ХАДСОН Эрик А. (US)
ТАЙТЦ Джеймс В. (US) | | Патентообладатели: | ЛАМ РИСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) |
Реферат | |
Использование: для получения структур плазменным травлением через маску. Сущность изобретения: способ травления слоя над подложкой через маску предусматривает циклический процесс модуляции газов на протяжении более чем трех циклов. Каждый цикл содержит этап выполнения операции формирования защитного слоя с использованием первого газообразного реагента с исходным газообразным реагентом, продолжительность которой составляет приблизительно 0,0055-7 секунд для каждого цикла, и этап выполнения операци
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента