|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАНТИЛЕВЕРА СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2335033 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/306 B82B003/00 | | Аналоги изобретения: | В.А.Быков. Микромеханика для сканирующей зондовой микроскопии и нанотехнологии. Микросистемная техника, №1, 2000, с.16-20. RU 2125234 C1, 20.01.1999. RU 2121657 C1, 10.11.1998. RU 2004126114 A, 27.02.2006. US 5811017 A, 22.09.1998. US 7119332 B2, 10.10.2006. |
| Имя заявителя: | ФГУП "Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина" (RU) | | Изобретатели: | Матвеева Надежда Константиновна (RU)
Иванова Лариса Александровна (RU)
Шокин Алексей Никифорович (RU) | | Патентообладатели: | ФГУП "Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области изготовления микромеханических устройств, а именно к способам формирования зондов сканирующих зондовых микроскопов, в частности кантилеверов, состоящих из консоли и иглы. Сущность изобретения: в способе изготовления кантилевера, включающем формирование на верхней поверхности монокристаллической кремниевой подложки КДБ с ориентацией (100) иглы кантилевера методом локального анизотропного травления кремния, формирование на верхней стороне подложки р-n перехода, локал
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента