|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВЫБОРОЧНОГО ПОКРЫТИЯ МИКРООБРАБОТАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2334304 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/027 | | Аналоги изобретения: | JP 61142761 А, 30.06.1986. US 5091288 А, 25.02.1992. WO 00/16105 A1, 23.03.2000. RU 2111576 C1, 20.05.1998. |
| Имя заявителя: | ОЛИВЕТТИ АЙ-ДЖЕТ С.П.А. (IT) | | Изобретатели: | КОНТА Ренато (IT)
ДИЗЕНЬЯ Ирма (IT) | | Патентообладатели: | ОЛИВЕТТИ АЙ-ДЖЕТ С.П.А. (IT) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии трехмерных микромеханических систем. Сущность изобретения: на кристалл, который имеет на своей поверхности вытравленные углубления, сначала накладывают лист негативного фоторезиста, который с помощью экспонирования и последующего проявления остается только над вытравленными углублениями, затем на негативный фоторезист наносят позитивный фоторезист, который подвергают экспонированию и проявлению для создания функциональных топологий, осажденных в виде тонких плен
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента