|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТАНОВКА ТРАВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2332749 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/3065 | | Аналоги изобретения: | JP 2001052894 А, 23.02.2001. US 6277756 В1, 21.08.2001. US 6071822 А, 06.06.2000. US 5501893 А, 26.03.1996. WO 01/93323 А2, 06.12.2001. RU 2192690 С2, 10.11.2002. |
| Имя заявителя: | УЛВАК, ИНК. (JP) | | Изобретатели: | МОРИКАВА Ясухиро (JP)
ХАЯСИ Тосио (JP)
СУУ Коукоу (JP) | | Патентообладатели: | УЛВАК
ИНК. (JP) |
Реферат | |
Использование: в области изготовления микроэлектромеханических систем и микроэлектронных устройств. Техническим результатом изобретения является достижение высокой селективности травления при использовании маски и получение анизотропного профиля и большой глубины травления. Сущность изобретения: установка травления содержит плазмогенерирующие средства для генерирования плазмы в вакуумной камере, источник высокочастотной мощности смещения, подающий высокочастотную мощность смещения на электрод-под
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента